1. Definition des Massengassystems:
Lagerung und Druckregelung von Inertgasen Gasarten: Typische Inertgase (Stickstoff, Argon, Druckluft usw.)
Pipelinegröße: Von 1/4 (Überwachungspipeline) bis 12 Zoll Hauptpipeline
Die Hauptprodukte des Systems sind: Membranventil/Faltenbalgventil/Kugelhahn, hochreiner Stecker (VCR, Schweißform), Aderendhülsenstecker, Druckregelventil, Manometer usw.
Derzeit umfasst das neue System auch ein Bulk-Spezialgassystem, das stationäre Gasflaschen oder Tankwagen für Lagerung und Transport nutzt.
2. Definition des Reinigungssystems:
Entfernung von Verunreinigungen aus Massengasen für hochreine Gaspipelines
3. Definition von Gasschränken:
Bietet Druckkontrolle und Durchflussüberwachung für spezielle Gasquellen (giftige, brennbare, reaktive, korrosive Gase) und ist in der Lage, Gasflaschen zu ersetzen.
Standort: Befindet sich im Untergeschoss oder im Untergeschoss zur Lagerung von Spezialgasen. Quelle: NF3, SF6, WF6 usw.
Rohrleitungsgröße: Interne Gasleitung, im Allgemeinen 1/4 Zoll für Prozessleitungen, 1/4-3/8 Zoll hauptsächlich für Spülleitungen mit hochreinem Stickstoff.
Hauptprodukte: Hochreine Membranventile, Rückschlagventile, Manometer, Manometer, hochreine Anschlüsse (VCR, Schweißform). Diese Gasschränke enthalten grundsätzlich automatische Umschaltfunktionen für Flaschen, um eine kontinuierliche Gasversorgung und einen sicheren Flaschenwechsel zu gewährleisten.
4. Verteilungsdefinition:
Anschließen der Gasquelle an die Gassammelspule
Leitungsgröße: In der Chipfabrik liegt die Größe der Großgasverteilungsleitung im Allgemeinen zwischen 1/2 Zoll und 2 Zoll.
Verbindungsform: Spezielle Gasleitungen werden im Allgemeinen durch Schweißen ohne mechanische Verbindung oder andere bewegliche Teile verbunden, hauptsächlich weil die Schweißverbindung eine hohe Dichtsicherheit aufweist.
In einer Chipfabrik sind Hunderte von Kilometern an Rohren zur Gasübertragung angeschlossen, die im Wesentlichen etwa 20 Fuß lang und zusammengeschweißt sind. Einige Rohrbögen und Rohrschweißverbindungen kommen ebenfalls sehr häufig vor.
5. Multifunktionsventilkasten (Valve Manifold Box, VMB) Definition:
Es dient dazu, Spezialgase von der Gasquelle an verschiedene Geräteenden zu verteilen.
Interne Rohrleitungsgröße: 1/4 Zoll Prozessleitung und 1/4 - 3/8 Zoll Spülleitung. Das System kann eine Computersteuerung verwenden, um betätigte Ventile oder kostengünstigere Situationen mit manuellen Ventilen zu erfordern.
Systemprodukte: hochreine Membranventile/Faltenbalgventile, Rückschlagventile, hochreine Verbindungen (VCR, Mikroschweißform), Druckregelventile, Manometer und Manometer usw. Für die Verteilung einiger Inertgase wird das Ventilverteilerpanel verwendet - Hauptsächlich wird VMP (Multifunktionsventilscheibe) verwendet, das über eine offene Gasscheibenoberfläche verfügt und keine geschlossene Raumkonstruktion und keine zusätzliche Stickstoffspülung erfordert.
6. Sekundärventilplatte/-kasten (Werkzeuganschlussplatte) Definition:
Schließen Sie das von der Halbleiterausrüstung benötigte Gas von der Gasquelle an das Geräteende an und sorgen Sie für eine entsprechende Druckregulierung. Bei diesem Panel handelt es sich um ein Gasregelsystem, das näher am Geräteende liegt als der VMB (Multifunktionsventilkasten).
Größe der Gasleitung: 1/4 - 3/8 Zoll
Größe der Flüssigkeitsleitung: 1/2 - 1 Zoll
Größe der Auslassleitung: 1/2 - 1 Zoll
Hauptprodukte: Membranventil/Balgventil, Einwegventil, Druckregelventil, Manometer, Manometer, hochreine Verbindung (VCR, Mikroschweißen), Aderendhülsenverbindung, Kugelhahn, Schlauch usw.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 22. November 2024