1. Definition des Bulk-Gas-Systems:
Lagerung und Druckkontrolle von Inertgasen Gasarten: Typische Inertgase (Stickstoff, Argon, Druckluft etc.)
Pipeline-Größe: Von 1/4 (Überwachungspipeline) bis 12-Zoll-Hauptpipeline
Die Hauptprodukte des Systems sind: Membranventil/Balgventil/Kugelhahn, hochreiner Steckverbinder (VCR, Schweißform), Ferrulensteckverbinder, Druckregelventil, Manometer usw.
Aktuell umfasst das neue System auch ein Bulk-Spezialgasesystem, bei dem stationäre Gasflaschen oder Tankwagen zur Lagerung und zum Transport verwendet werden.
2. Definition des Reinigungssystems:
Entfernung von Verunreinigungen aus Massengasen für hochreine Gaspipelines
3. Gasschränke Definition:
Sorgen Sie für Druckregelung und Durchflussüberwachung für spezielle Gasquellen (giftige, brennbare, reaktive, ätzende Gase) und bieten Sie die Möglichkeit, Gasflaschen auszutauschen.
Standort: Befindet sich im Untergeschoss oder im Erdgeschoss zur Lagerung spezieller Gase. Quelle: NF3, SF6, WF6 usw.
Rohrleitungsgröße: Interne Gasleitung, im Allgemeinen 1/4 Zoll für Prozessleitungen, 1/4-3/8 Zoll hauptsächlich für hochreine Stickstoff-Spülleitungen.
Hauptprodukte: Hochreine Membranventile, Rückschlagventile, Druckmessgeräte, Druckmesser, Hochreine Verbindungsstücke (VCR, Schweißform) Diese Gasschränke enthalten grundsätzlich automatische Umschaltmöglichkeiten für Flaschen, um eine kontinuierliche Gasversorgung und einen sicheren Flaschenwechsel zu gewährleisten.
4. Verteilungsdefinition:
Anschluss der Gasquelle an die Gassammelspule
Leitungsgröße: In der Chipfabrik liegt die Größe der Gasverteilungsleitung im Allgemeinen zwischen 1/2 und 2 Zoll.
Verbindungsform: Spezielle Gasleitungen werden im Allgemeinen durch Schweißen verbunden, ohne mechanische Verbindung oder andere bewegliche Teile, hauptsächlich weil die Schweißverbindung eine hohe Dichtigkeit aufweist.
In einer Chipfabrik gibt es Hunderte von Kilometern Rohrleitungen für die Gasübertragung. Diese sind im Grunde etwa 6 Meter lang und miteinander verschweißt. Auch Rohrbögen und Rohrschweißverbindungen sind weit verbreitet.
5. Multifunktionsventilkasten (Ventilverteilerkasten, VMB) Definition:
Es dient der Verteilung spezieller Gase von der Gasquelle an verschiedene Geräteenden.
Interne Rohrleitungsgröße: 1/4 Zoll Prozessleitung und 1/4 - 3/8 Zoll Spülleitung. Das System kann computergesteuert sein, um betätigte Ventile oder in kostengünstigeren Situationen manuelle Ventile zu erfordern.
Systemprodukte: Hochreine Membranventile/Balgventile, Rückschlagventile, Hochreine Verbindungen (VCR, Mikroschweißform), Druckregelventile, Druckmessgeräte und Manometer usw. Für die Verteilung einiger Inertgase wird hauptsächlich das Valve Manifold Panel – VMP (Multifunktionsventilscheibe) verwendet, das über eine offene Gasscheibenoberfläche verfügt und keine geschlossene Raumkonstruktion und zusätzliche Stickstoffspülung erfordert.
6. Sekundärventilplatte/-kasten (Tool Hookup Panel) Definition:
Verbinden Sie das von der Halbleiterausrüstung benötigte Gas von der Gasquelle mit dem Geräteende und sorgen Sie für eine entsprechende Druckregelung. Dieses Panel ist ein Gasregelsystem, das sich näher am Geräteende befindet als der VMB (Multifunktionsventilkasten).
Gasleitungsgröße: 1/4 - 3/8 Zoll
Flüssigkeitsleitungsgröße: 1/2 - 1 Zoll
Größe der Abflussleitung: 1/2 - 1 Zoll
Hauptprodukte: Membranventil/Balgventil, Einwegventil, Druckregelventil, Druckmesser, Druckmesser, hochreine Verbindung (VCR, Mikroschweißen), Klemmringverbindung, Kugelhahn, Schlauch usw.
Veröffentlichungszeit: 22. November 2024