1. Definition eines Massengassystems:
Lagerung und Druckregelung von Edelgasen Gasarten: Typische Edelgase (Stickstoff, Argon, Druckluft usw.)
Rohrleitungsgröße: Von 1/4 Zoll (Überwachungsleitung) bis 12 Zoll Hauptleitung
Die Hauptprodukte des Systems sind: Membranventil/Balgventil/Kugelhahn, hochreiner Verbinder (VCR, Schweißform), Klemmringverbinder, Druckregelventil, Manometer usw.
Aktuell umfasst das neue System auch ein Spezialgassystem für große Mengen, bei dem fest installierte Gasflaschen oder Tankwagen zur Lagerung und zum Transport verwendet werden.
2. Definition des Reinigungssystems:
Entfernung von Verunreinigungen aus Massengasen für hochreine Gaspipelines
3. Definition von Gasschränken:
Bereitstellung von Druckregelung und Durchflussüberwachung für spezielle Gasquellen (toxische, entzündliche, reaktive, korrosive Gase) und die Fähigkeit, Gasflaschen auszutauschen.
Standort: Befindet sich im Untergeschoss oder im Erdgeschoss zur Lagerung von Spezialgasen. Quelle: NF3, SF6, WF6 usw.
Rohrleitungsgröße: Interne Gasleitung, im Allgemeinen 1/4 Zoll für Prozessleitungen, 1/4-3/8 Zoll hauptsächlich für hochreine Stickstoffspülleitungen.
Hauptprodukte: Hochreine Membranventile, Rückschlagventile, Manometer, Druckmessgeräte, hochreine Verbinder (VCR, Schweißform). Diese Gasschränke verfügen im Wesentlichen über automatische Umschaltfunktionen für die Gasflaschen, um eine kontinuierliche Gasversorgung und einen sicheren Flaschenwechsel zu gewährleisten.
4. Definition der Verteilung:
Anschluss der Gasquelle an die Gassammelspule
Leitungsgröße: In der Chipfabrik liegt die Größe der Hauptgasverteilungsleitung im Allgemeinen zwischen 1/2 Zoll und 2 Zoll.
Verbindungsart: Spezielle Gasleitungen werden im Allgemeinen durch Schweißen verbunden, ohne mechanische Verbindungen oder andere bewegliche Teile, hauptsächlich weil die Schweißverbindung eine hohe Dichtigkeit aufweist.
In einer Chipfabrik verlaufen hunderte Kilometer Rohrleitungen zum Transport von Gas. Diese sind in der Regel etwa sechs Meter lang und miteinander verschweißt. Rohrbögen und Schweißverbindungen sind ebenfalls sehr häufig.
5. Definition des Multifunktions-Ventilkastens (Ventilverteilerkasten, VMB):
Es dient dazu, spezielle Gase von der Gasquelle zu verschiedenen Geräteanschlüssen zu verteilen.
Interne Rohrleitungsgröße: 1/4 Zoll Prozessleitung und 1/4 bis 3/8 Zoll Spülleitung. Das System kann computergesteuert mit Stellventilen oder kostengünstig mit manuellen Ventilen betrieben werden.
Systemprodukte: Hochreine Membranventile/Balgventile, Rückschlagventile, hochreine Verbindungen (VCR, Mikroschweißverfahren), Druckregelventile, Manometer usw. Für die Verteilung einiger Inertgase wird hauptsächlich das Ventilverteilerfeld - VMP (Multifunktionsventilscheibe) verwendet, das über eine offene Gasscheibenoberfläche verfügt und keine geschlossene Raumkonstruktion sowie keine zusätzliche Stickstoffspülung erfordert.
6. Sekundärventilplatte/-kasten (Werkzeuganschlussfeld) Definition:
Schließen Sie das für die Halbleiteranlage benötigte Gas von der Gasquelle zum Anlagenende an und sorgen Sie für eine entsprechende Druckregelung. Dieses Bedienfeld ist ein Gasregelsystem, das sich näher am Anlagenende befindet als der Multifunktionsventilkasten (VMB).
Gasleitungsgröße: 1/4 - 3/8 Zoll
Flüssigkeitsleitungsgröße: 1/2 - 1 Zoll
Abflussrohrgröße: 1/2 - 1 Zoll
Hauptprodukte: Membranventil/Balgventil, Rückschlagventil, Druckregelventil, Manometer, Druckmessgerät, hochreine Verbindungen (VCR, Mikroschweißen), Klemmringverschraubungen, Kugelhähne, Schläuche usw.
Veröffentlichungsdatum: 22. November 2024