In Branchen wie der Mikroelektronik, Optoelektronik und Biopharmazie,helles Glühen(BA), Beizen oder Passivieren (AP),elektrolytisches Polieren (EP)Die Vakuumnachbehandlung wird im Allgemeinen für hochreine und saubere Rohrleitungssysteme eingesetzt, die empfindliche oder korrosive Medien transportieren. Gelöste Produkte (VIM+VAR).
A. Elektropoliert (EP) wird durch elektrochemisches Polieren die Oberflächenmorphologie und -struktur deutlich verbessert und die tatsächliche Oberfläche bis zu einem gewissen Grad reduziert. Die Oberfläche bildet einen geschlossenen, dicken Chromoxidfilm. Die Oberflächenenergie liegt nahe am normalen Niveau der Legierung, und die Menge an Verunreinigungen wird reduziert – typischerweise geeignet für Elektronikbauteile.hochreine Gase.
B. Blankglühen (auch Blankglühen genannt) ist eine Hochtemperatur-Wärmebehandlung im Hydrier- oder Vakuumzustand, die einerseits innere Spannungen beseitigt und andererseits einen Passivierungsfilm auf der Rohroberfläche bildet, um die morphologische Struktur zu verbessern und das Energieniveau zu senken, ohne die Oberflächenrauheit zu erhöhen – üblicherweise geeignet für GN2, CDA und nicht prozessierte Inertgase.
C. Gebeizte und passivierte/chemisch polierte Rohre werden als AP und CP bezeichnet. Durch Beizen oder Passivieren des Rohrs wird die Oberflächenrauheit nicht erhöht, jedoch können verbleibende Partikel auf der Oberfläche entfernt und das Energieniveau gesenkt werden. Die Anzahl der Zwischenschichten – die üblicherweise bei Industrierohren verwendet werden – wird dadurch jedoch nicht verringert.
D. Das Vakuum-Sekundärauflösungs-Reinigungsrohr Vim (Vakuuminduktionsschmelzen) + Var (Vakuum-Lichtbogen-Umschmelzen), kurz V+V, ist ein Produkt der Sumitomo Metal Company. Es wird unter Lichtbogenbedingungen im Vakuum erneut bearbeitet, wodurch die Korrosionsbeständigkeit und Oberflächenrauheit effektiv verbessert werden. Es eignet sich üblicherweise für hochkorrosive, hochreine Gase in Elektronikqualität, wie z. B. BCl3, WF6, Cl2, HBr usw. 
Veröffentlichungsdatum: 08.04.2024