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Einführung in hochreine Gasleitungen in elektronischer Qualität

In Branchen wie Mikroelektronik, Optoelektronik und BiopharmazeutikaBlankglühen(BA), Beizen oder Passivieren (AP),elektrolytisches Polieren (EP)und Vakuumnachbehandlung werden im Allgemeinen für hochreine und saubere Rohrleitungssysteme eingesetzt, die empfindliche oder korrosive Medien transportieren. Gelöste (VIM+VAR) Produkte.
A. Elektropoliert (elektropoliert) wird als EP bezeichnet. Durch elektrochemisches Polieren können die Oberflächenmorphologie und -struktur erheblich verbessert und die tatsächliche Oberfläche bis zu einem gewissen Grad reduziert werden. Die Oberfläche ist ein geschlossener, dicker Chromoxidfilm, die Energie liegt nahe am normalen Niveau der Legierung und die Menge an Medien ist reduziert – normalerweise geeignet für elektronische Qualitäthochreine Gase.
B. Blankglühen (Bright Annealing) wird als BA bezeichnet. Eine Hochtemperatur-Wärmebehandlung im Hydrierungs- oder Vakuumzustand beseitigt einerseits innere Spannungen und bildet andererseits einen Passivierungsfilm auf der Oberfläche des Rohrs, um die morphologische Struktur zu verbessern und das Energieniveau zu senken, was jedoch nicht der Fall ist Erhöhen Sie die Oberflächenrauheit – normalerweise geeignet für GN2, CDA und Nicht-Prozess-Inertgase.
C. Gebeizt und passiviert/chemisch poliert (gebeizt und passiviert/chemisch poliert) werden als AP und CP bezeichnet. Durch Beizen oder Passivieren des Rohrs wird die Oberflächenrauheit nicht erhöht, es kann jedoch die verbleibenden Partikel auf der Oberfläche entfernen und das Energieniveau verringern, es verringert jedoch nicht die Anzahl der Zwischenschichten, die normalerweise bei Rohren in Industriequalität verwendet werden.
 
D. Vakuum-Sekundärauflösungs-Reinrohr Vim (Vacuum Induction Melting) + Var (Vacuum ArcRemelting), bezeichnet als V+V, ist ein Produkt der Sumitomo Metal Company. Es wurde erneut unter Lichtbogenbedingungen im Vakuumzustand verarbeitet, was die Korrosionsbeständigkeit und Oberflächenrauheit effektiv verbessert. Grad – normalerweise geeignet für hochkorrosive, hochreine elektronische Gase, wie zum Beispiel: BCL3, WF6, CL2, HBr usw.

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Zeitpunkt der Veröffentlichung: 08.04.2024