As HalbleiterDa sich die Mikroelektroniktechnologien hin zu höherer Leistung und höherer Integration entwickeln, werden höhere Anforderungen an die Reinheit elektronischer Spezialgase gestellt. Die Reinstgas-Rohrleitungstechnik ist ein wichtiger Bestandteil des Reinstgasversorgungssystems. Es handelt sich um die Schlüsseltechnologie, um hochreine Gase, die den Anforderungen entsprechen, an die Gasverbrauchsstellen zu liefern und gleichzeitig eine qualifizierte Qualität beizubehalten.
Zur hochreinen Rohrleitungstechnik gehören die richtige Auslegung der Anlage, die Auswahl der Rohrverbindungen und Hilfsstoffe, die Konstruktion sowie die Montage und Prüfung.
01Allgemeines Konzept der Gastransportleitungen
Alle hochreinen und reinsten Gase müssen über Pipelines zum Endgaspunkt transportiert werden. Um die Prozessqualitätsanforderungen für Gas zu erfüllen, ist es bei sicherem Gasexportindex wichtiger, auf die Materialauswahl und die Konstruktionsqualität des Rohrleitungssystems zu achten. Neben der Genauigkeit der Gasproduktions- oder -reinigungsausrüstung wird sie maßgeblich von vielen Faktoren des Rohrleitungssystems beeinflusst. Daher muss die Auswahl der Rohre den einschlägigen Grundsätzen der Reinigungsindustrie entsprechen und das Material der Rohre in den Zeichnungen kennzeichnen.
02Die Bedeutung hochreiner Pipelines im Gastransport
Die Bedeutung hochreiner Pipelines für den Transport hochreiner Gase Während des Edelstahlschmelzprozesses kann jede Tonne etwa 200 g Gas aufnehmen. Nach der Verarbeitung des Edelstahls haften nicht nur verschiedene Schadstoffe auf seiner Oberfläche, sondern es wird auch eine gewisse Menge Gas in seinem Metallgitter absorbiert. Wenn Luft durch die Rohrleitung strömt, gelangt der vom Metall absorbierte Teil des Gases wieder in den Luftstrom und verunreinigt das reine Gas.
Wenn der Luftstrom im Rohr diskontinuierlich ist, bildet das Rohr eine Druckadsorption auf das durchströmende Gas. Wenn der Luftstrom aufhört zu strömen, bildet das vom Rohr adsorbierte Gas eine Druckreduzierungsanalyse, und das analysierte Gas gelangt auch als Verunreinigung in das reine Gas im Rohr.
Gleichzeitig führt der Adsorptions- und Analysezyklus dazu, dass das Metall auf der Innenfläche des Rohrs eine bestimmte Menge Pulver produziert. Diese Metallstaubpartikel verunreinigen auch das reine Gas im Rohr. Diese Eigenschaft der Pfeife ist sehr wichtig. Um die Reinheit des transportierten Gases zu gewährleisten, ist nicht nur eine extrem hohe Glätte der Rohrinnenoberfläche, sondern auch eine hohe Verschleißfestigkeit erforderlich.
Wenn das Gas stark korrosive Eigenschaften aufweist, müssen für die Verrohrung korrosionsbeständige Edelstahlrohre verwendet werden. Andernfalls entstehen durch Korrosion Korrosionsflecken an der Innenfläche des Rohres. In schweren Fällen lösen sich große Metallstücke oder werden sogar perforiert, wodurch das transportierte Reingas verunreinigt wird.
03Rohrmaterial
Die Materialauswahl des Rohres muss entsprechend den Einsatzbedürfnissen ausgewählt werden. Die Qualität des Rohres wird im Allgemeinen anhand der Rauheit der Innenoberfläche des Rohres gemessen. Je geringer die Rauheit ist, desto geringer ist die Wahrscheinlichkeit, dass Partikel darin transportiert werden. Im Allgemeinen in drei Typen unterteilt:
Einer istRohr aus EP-Qualität 316L, das elektrolytisch poliert (Elektropoliert) wurde. Es ist korrosionsbeständig und weist eine geringe Oberflächenrauheit auf. Rmax (maximale Spitze-Tal-Höhe) beträgt etwa 0,3 μm oder weniger. Es weist die höchste Ebenheit auf und bildet nicht leicht Mikrowirbelströme. Kontaminierte Partikel entfernen. Auf dieser Ebene sollte das im Prozess eingesetzte Reaktionsgas eingeleitet werden.
Einer ist einBA-Qualität 316LRohr, das durch Bright Anneal behandelt wurde und häufig für Gase verwendet wird, die mit dem Chip in Kontakt kommen, aber nicht an der Prozessreaktion teilnehmen, wie z. B. GN2 und CDA. Eines davon ist AP-Rohr (Annealing & Picking), das nicht speziell behandelt wird und im Allgemeinen für doppelte Sätze von Außenrohren verwendet wird, die nicht als Gasversorgungsleitungen verwendet werden.
04 Rohrleitungsbau
Die Bearbeitung der Pfeifenmündung ist einer der Kernpunkte dieser Bautechnik. Der Zuschnitt und die Vorfertigung der Rohrleitung erfolgen in einer sauberen Umgebung. Gleichzeitig wird sichergestellt, dass vor dem Zuschnitt keine schädlichen Spuren oder Beschädigungen auf der Oberfläche der Rohrleitung entstehen. Vor dem Öffnen der Rohrleitung sollten Vorbereitungen für die Stickstoffspülung in der Rohrleitung getroffen werden. Prinzipiell wird Schweißen zur Verbindung von hochreinen und hochreinen Gastransport- und -verteilungsleitungen mit großem Durchfluss eingesetzt, direktes Schweißen ist jedoch nicht zulässig. Es sollten Gehäuseverbindungen verwendet werden und das verwendete Rohrmaterial darf beim Schweißen keine Strukturveränderung erfahren. Wenn das Material mit einem zu hohen Kohlenstoffgehalt geschweißt wird, führt die Luftdurchlässigkeit des Schweißteils dazu, dass das Gas innerhalb und außerhalb des Rohrs ineinander eindringt, wodurch die Reinheit, Trockenheit und Sauberkeit des Fördergases zerstört wird, was zu schwerwiegenden Folgen führt und beeinflussen die Produktionsqualität.
Zusammenfassend muss für hochreine Gas- und Spezialgastransportleitungen ein speziell behandeltes hochreines Edelstahlrohr verwendet werden, wodurch das hochreine Rohrleitungssystem (einschließlich Rohrleitungen, Rohrverbindungsstücke, Ventile, VMB, VMP) einen Platz einnimmt entscheidende Aufgabe bei der Verteilung hochreiner Gase.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 26. November 2024